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等離子蝕刻是什么 能用來做什么
等離子蝕刻是什么:
簡單地說,等離子體或干法蝕刻是用等離子體代替液體蝕刻劑進行的蝕刻工藝,為此設(shè)置很像濺射,在此過程中,您實際上不必沉積一層,而是同時蝕刻材料表面。
正是在這段時間里,人們正在探索和引入新的蝕刻工藝。等離子蝕刻相對較高的成功率使其成為眾多制造商的首選蝕刻類型。
等離子清洗前
1、與酸蝕刻劑不同,等離子蝕刻劑是一種極好的清潔劑,可以去除金屬表面上任何不需要的有機殘留物。
2、與其他蝕刻劑相比,等離子蝕刻可以更好地粘附兩個表面。
3、等離子體蝕刻被認為比傳統(tǒng)的酸蝕刻風險更小。
4、等離子體清洗的使用改善了蝕刻材料的物理特性。
5、等離子蝕刻改善了金屬的化學和物理特性。
這些是已經(jīng)發(fā)現(xiàn)等離子蝕刻可以用來應(yīng)用的功能,會導(dǎo)致集成電路制造質(zhì)量的顯著改進。
等離子清洗后
等離子蝕刻是什么 能用來做什么 總結(jié):
由于其眾多優(yōu)勢,很容易看出干蝕刻和等離子體蝕刻將如何在未來許多年內(nèi)仍然是蝕刻微系統(tǒng)和集成電路的重要技術(shù)。