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晶圓級(jí)封裝的等離子清洗機(jī)有哪些特點(diǎn)
來源:深圳金徠技術(shù)公司 | 作者:金徠等離子處理設(shè)備 | 發(fā)布時(shí)間: 2021-06-24 | 1845 次瀏覽 | 分享到:
晶圓級(jí)封裝是先進(jìn)的芯片封裝方式之一,即整片晶圓生產(chǎn)完成后,直接在晶圓上面進(jìn)行封裝和測試,然后把整個(gè)晶圓切割開來分成單顆晶粒;電氣連接部分采用用銅凸塊取代打線的方法,所以沒有打線或填膠工藝。

晶圓(Wafer)清洗分為濕法清洗和干法清洗,等離子清洗屬于后者,主要是去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物。其清洗過程就是先將晶圓放入等離子清洗機(jī)的真空反應(yīng)腔體內(nèi),然后抽取真空,達(dá)到一定真空度后通入反應(yīng)氣體,這些反應(yīng)氣體被電離形成等離子體與晶片表面發(fā)生化學(xué)和物理反應(yīng),生成可揮發(fā)性物質(zhì)被抽走,使得晶圓表面變得清潔并具親水性。

Wafer封裝等離子清洗機(jī)


與其他行業(yè)比較,晶圓級(jí)封裝的等離子清洗機(jī)有哪些特點(diǎn)呢?

1、晶圓級(jí)封裝是先進(jìn)的芯片封裝方式之一,即整片晶圓生產(chǎn)完成后,直接在晶圓上面進(jìn)行封裝和測試,然后把整個(gè)晶圓切割開來分成單顆晶粒;電氣連接部分采用用銅凸塊取代打線的方法,所以沒有打線或填膠工藝。
2、晶圓級(jí)封裝前處理的目的是去除表面的無機(jī)物,還原氧化層,增加銅表面的粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。
3、晶圓級(jí)封裝前處理的等離子清洗機(jī)由于產(chǎn)能的需要,真空反應(yīng)腔體、電極結(jié)構(gòu)、氣流分布、水冷裝置、均勻性等方面的設(shè)計(jì)會(huì)有顯著區(qū)別。

4、芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗,只能通過等離子的方式進(jìn)行去除,然而光刻膠較厚無法確定,所以需要去調(diào)整相應(yīng)的工藝參數(shù)。


等離子清洗晶圓的效果對(duì)比


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